ንጥል | ቴክኒካዊ ንብረት | ||
ከፍተኛ ንፅህና xenon ጊባ/T5828-2006 | Ultrapure xenon | ||
Xenon (Xe) ንፅህና (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
ናይትሮጅን (ኤን2) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
ኦክስጅን (ኦ2) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 1.5 (ኦ2+አር) | 0.5 (ኦ2+አር) | 0.1 |
የአርጎን (አር) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 0.05 | ||
ሃይድሮጂን (ኤች2) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
የካርቦን ሞኖክሳይድ (CO) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO+CO2) |
የካርቦን ዳይኦክሳይድ (CO2) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
ሚቴን (CH4) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
ውሃ (ኤች2ኦ) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
Krypton (Kr) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
ናይትረስ ኦክሳይድ (ኤን2ኦ) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
ፍሎራይድ (ሲ2F6) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
ፍሎራይድ (ኤስ.ኤፍ6) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | ኤን/ኤ | ኤን/ኤ | 0.05 |
የማመልከቻ መስኮች-በዋነኛነት በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ፣ በኤሮስፔስ ፣ በኤሌክትሪክ ብርሃን ምንጭ ኢንዱስትሪ ፣ በሕክምና ፣ በኤሌክትሪክ ቫክዩም ፣ በጨለማ ጉዳይ ምርምር ፣ በሌዘር እና በሌሎች መስኮች ጥቅም ላይ ይውላል