ንጥል | ቴክኒካዊ ንብረት | ||
ንጹህ ኦክስጅን | ከፍተኛ ንፅህና ኦክስጅን | እጅግ በጣም ንጹህ ኦክስጅን | |
ኦክስጅን (ኦ2) ንጽህና (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
ሃይድሮጂን (ኤች2) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
የአርጎን (አር) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
ናይትሮጅን (ኤን2) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
ካርቦን ዳይኦክሳይድ (CO2) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
አጠቃላይ የሃይድሮካርቦን ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ) (በሚቴን የተሰላ)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
ውሃ (ኤች2ኦ) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
የመተግበሪያ መስክ: በዋናነት መደበኛ ጋዝ ቅልቅል, ሳይንሳዊ ምርምር, የተቀናጀ ወረዳዎች እና ሴሚኮንዳክተር መሣሪያዎች ምርት, እና የኦክስጅን ንጽህና ለማግኘት ከፍተኛ መስፈርቶች ጋር ሌሎች መስኮች ዝግጅት ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል.