غرض | الملكية الفنية | |
نقاء الأرجون (Ar) (الكسر الحجمي) / 10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
الهيدروجين (H2) المحتوى (جزء الحجم) / 10-6≤ | 0.1 | 1 |
النيتروجين (N2) المحتوى (جزء الحجم) / 10-6≤ | 0.5 | 5 |
الأكسجين (O2) المحتوى (جزء الحجم) / 10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
إجمالي محتوى أول أكسيد الكربون (CO) وثاني أكسيد الكربون (CO2), (كسر الحجم)/10-6≤ | أول أكسيد الكربون: 0.1 ثاني أكسيد الكربون: 0.1 | 0.5 |
إجمالي محتوى الهيدروكربون (محسوبًا بالميثان) (الكسر الحجمي) / 10-6≤ | 0.1 | 0.5 |
الماء (H2O) المحتوى (الكسر الحجمي) / 10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
إجمالي محتوى الشوائب (الكسر الحجمي) / 10-6≤ | 1 | 8 |
قمح | متفق عليه بين المورد والطالب | متفق عليه بين المورد والطالب |
ملحوظة: يجب قياس محتوى الماء في الأرجون السائل بعد التغويز |
مجال التطبيق: يُستخدم بشكل رئيسي في تطهير وحماية وضغط النظام. كما يُمكن استخدامه في الترسيب الكيميائي للبخار، والرش، والبلازما، والحفر الأيوني النشط، والتلدين، وغيرها من العمليات المختلفة، بالإضافة إلى الغازات المختلطة الخاصة بالإلكترونيات.