غرض | الملكية الفنية | ||
الأكسجين النقي | أكسجين عالي النقاء | الأكسجين فائق النقاء | |
الأكسجين (O2) النقاء (الكسر الحجمي)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
الهيدروجين (H2) المحتوى (جزء الحجم) / 10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
محتوى الأرجون (Ar) (الكسر الحجمي) / 10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
النيتروجين (N2) المحتوى (جزء الحجم) / 10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
ثاني أكسيد الكربون (CO2) المحتوى (جزء الحجم) / 10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
إجمالي محتوى الهيدروكربون (الكسر الحجمي) (محسوبًا بالميثان) / 10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
الماء (H2O) المحتوى (الكسر الحجمي) / 10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
مجال التطبيق: يستخدم بشكل أساسي في تحضير خليط الغاز القياسي، والبحث العلمي، وإنتاج الدوائر المتكاملة وأجهزة أشباه الموصلات، وغيرها من المجالات ذات المتطلبات العالية لنقاء الأكسجين.