Пункт | Тэхнічная ўласнасць | |
Чысціня аргону (Ar) (аб'ёмная доля)/10-2≥ | 99,9999 | 99,9992 |
Вадарод (H2) утрыманне (аб'ёмная доля)/10-6≤ | 0,1 | 1 |
Азот (N2) утрыманне (аб'ёмная доля)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
Кісларод (O2) утрыманне (аб'ёмная доля)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
Агульны ўтрыманне аксіду вугляроду (CO) і дыяксіду вугляроду (CO2), (аб'ёмная доля)/10-6≤ | Чадны газ: 0,1 Вуглякіслы газ: 0,1 | 0,5 |
Агульны ўтрыманне вуглевадародаў (разлічаных па метане) (аб'ёмная доля)/10-6≤ | 0,1 | 0,5 |
Вада (H2O) утрыманне (аб'ёмная доля)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
Агульны ўтрыманне прымешак (аб'ёмная доля)/10-6≤ | 1 | 8 |
Збожжа | Узгоднена пастаўшчыком і замоўцам | Узгоднена пастаўшчыком і замоўцам |
Заўвага: Утрыманне вады ў вадкім аргоне павінна вымярацца пасля газіфікацыі. |
Вобласць ужывання: у асноўным выкарыстоўваецца для прачысткі, абароны і павышэння ціску сістэмы. Таксама можа выкарыстоўвацца ў хімічным асаджэнні з паравой фазы, распыленні, плазменным і актыўным іённым травленні, адпале і іншых розных працэсах, а таксама ў спецыяльных газавых сумесях для электронікі.