Пункт | Тэхнічная ўласнасць | ||
Чысты азот | Азот высокай чысціні | Ультрачысты азот | |
Азот (N2) чысціня (аб'ёмная доля)/10-2≥ | 99,99 | 99,999 | 99,9999 |
Кісларод (O2) утрыманне (аб'ёмная доля)/10-6≤ | 50 | 3 | 0,1 |
Змест аргону (Ar) (аб'ёмная доля)/10-6≤ | - | - | 2 |
Вадарод (H2) утрыманне (аб'ёмная доля)/10-6≤ | 15 | 1 | 0,1 |
Змест аксіду вугляроду (CO) (аб'ёмная доля)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
Вуглякіслы газ (CO2) утрыманне (аб'ёмная доля)/10-6≤ | 10 | 1 | 0,1 |
Метан (CH4) утрыманне (аб'ёмная доля)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
Вада (H2O) утрыманне (аб'ёмная доля)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |