Пункт | Тэхнічная ўласнасць | ||
Чысты кісларод | Кісларод высокай чысціні | Звышчысты кісларод | |
Кісларод (O2) чысціня (аб'ёмная доля)/10-2≥ | 99,995 | 99,999 | 99,9999 |
Вадарод (H2) утрыманне (аб'ёмная доля)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Змест аргону (Ar) (аб'ёмная доля)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
Азот (N2) утрыманне (аб'ёмная доля)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
Вуглякіслы газ (CO2) утрыманне (аб'ёмная доля)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Агульны ўтрыманне вуглевадародаў (аб'ёмная доля) (разлічаная па метане)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
Вада (H2O) утрыманне (аб'ёмная доля)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Вобласць ужывання: у асноўным выкарыстоўваецца ў падрыхтоўцы стандартнай газавай сумесі, навуковых даследаваннях, вытворчасці інтэгральных схем і паўправадніковых прыбораў, а таксама ў іншых галінах з высокімі патрабаваннямі да чысціні кіслароду.