Položka | Technické vlastnosti | ||
Vysoce čistý krypton GB/T5829-2006 | Ultračistý krypton | ||
Čistota Kr (objemový podíl)/10-2≥ | 99,999 | 99,9995 | 99,9999 |
Dusík (N2) obsah (objemový zlomek)/10-6≤ | 2 | 1,5 | 0,2 |
Kyslík (O2) obsah (objemový zlomek)/10-6≤ | 1,5(O)2+Ar) | 0,5(O)2+Ar) | 0,1 |
Obsah argonu (Ar) (objemový podíl)/10-6≤ | 0,05 | ||
Vodík (H2) obsah (objemový zlomek)/10-6≤ | 0,5 | 0,2 | 0,05 |
Obsah oxidu uhelnatého (CO) (objemový podíl)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Oxid uhličitý (CO2) obsah (objemový zlomek)/10-6≤ | 0,4 | 0,1 | 0,05 |
Metan (CH4) obsah (objemový zlomek)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Voda (H2obsah O) (objemový zlomek)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,2 |
Obsah xenonu (Xe) (objemový podíl)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,2 |
Fluorid (CF4) obsah (objemový zlomek)/10-6≤ | 1 | 0,2 | 0,05 |
Oblast použití: používá se hlavně v polovodičovém průmyslu, průmyslu elektrických vakuových technologií, průmyslu elektrických světelných zdrojů, stejně jako v laserovém plynu, lékařství a dalších oblastech