Položka | Technické vlastnosti | ||
Vysoce čistý xenon GB/T5828-2006 | Ultračistý xenon | ||
Čistota xenonu (Xe) (objemový podíl)/10-2≥ | 99,999 | 99,9995 | 99,9999 |
Dusík (N2) obsah (objemový zlomek)/10-6≤ | 2,5 | 1,5 | 0,2 |
Kyslík (O2) obsah (objemový zlomek)/10-6≤ | 1,5(O)2+Ar) | 0,5(O)2+Ar) | 0,1 |
Obsah argonu (Ar) (objemový podíl)/10-6≤ | 0,05 | ||
Vodík (H2) obsah (objemový zlomek)/10-6≤ | 0,5 | 0,5 | 0,05 |
Obsah oxidu uhelnatého (CO) (objemový podíl)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05(CO+CO2) |
Obsah oxidu uhličitého (CO2) (objemový podíl)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | |
Metan (CH4) obsah (objemový zlomek)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Voda (H2obsah O) (objemový zlomek)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Obsah kryptonu (Kr) (objemový podíl)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Oxid dusný (N2obsah O) (objemový zlomek)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05 |
Fluorid (C2F6) obsah (objemový zlomek)/10-6≤ | 0,5 | 0,1 | 0,05 |
Fluorid (SF6) obsah (objemový zlomek)/10-6≤ | Není k dispozici | Není k dispozici | 0,05 |
Oblasti použití: používá se hlavně v polovodičovém průmyslu, leteckém průmyslu, průmyslu elektrických světelných zdrojů, lékařství, elektrickém vakuu, výzkumu temné hmoty, laserech a dalších oblastech