Punkt | Teknisk egenskab | |
Argon (Ar) renhed (volumenfraktion)/10-2≥ | 99,9999 | 99,9992 |
Brint (H2) indhold (volumenfraktion)/10-6≤ | 0,1 | 1 |
Kvælstof (N2) indhold (volumenfraktion)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
Ilt (O2) indhold (volumenfraktion)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
Samlet indhold af kulilte (CO) og kuldioxid (CO)2), (volumenfraktion)/10-6≤ | Kulilte: 0,1 Kuldioxid: 0,1 | 0,5 |
Totalt indhold af kulbrinter (beregnet ved metan) (volumenfraktion)/10-6≤ | 0,1 | 0,5 |
Vand (H2O) indhold (volumenfraktion)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
Totalt urenhedsindhold (volumenfraktion)/10-6≤ | 1 | 8 |
Korn | Aftalt mellem leverandør og efterspørger | Aftalt mellem leverandør og efterspørger |
Bemærk: Vandindholdet i flydende argon skal måles efter forgasning. |
Anvendelsesområde: Anvendes primært til udrensning, beskyttelse og tryksætning af systemet. Det kan også bruges til kemisk dampaflejring, sputtering, plasma- og aktiv ionætsning, udglødning og andre forskellige processer, samt i elektronisk specialblandet gas.