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Kohlenstofftetrafluorid

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Tetrafluormethan, auch Tetrafluorkohlenstoff genannt, ist der einfachste Fluorkohlenwasserstoff (CF4).Aufgrund der Beschaffenheit der Kohlenstoff-Fluor-Bindung weist es eine sehr hohe Bindungsstärke auf.Es kann auch als Haloalkan oder Halomethan klassifiziert werden.Aufgrund der mehrfachen Kohlenstoff-Fluor-Bindungen und der höchsten Elektronegativität von Fluor weist der Kohlenstoff in Tetrafluormethan eine deutlich positive Teilladung auf, die die vier Kohlenstoff-Fluor-Bindungen stärkt und verkürzt, indem sie zusätzlichen ionischen Charakter verleiht.Tetrafluormethan ist ein starkes Treibhausgas.

Tetrafluormethan wird manchmal als Kältemittel für niedrige Temperaturen verwendet.Es wird in der Mikrofertigung von Elektronik allein oder in Kombination mit Sauerstoff als Plasmaätzmittel für Silizium, Siliziumdioxid und Siliziumnitrid verwendet.

Chemische Formel CF4 Molekulargewicht 88
CAS-Nr. 75-73-0 EINECS-Nr. 200-896-5
Schmelzpunkt -184℃ Boling-Punkt -128,1℃
Löslichkeit Nicht in Wasser löslich Dichte 1,96 g/cm³ (-184 ℃)
Aussehen Ein farbloses, geruchloses, nicht brennbares, komprimierbares Gas Anwendung Wird im Plasmaätzprozess für verschiedene integrierte Schaltkreise sowie als Lasergas, Kältemittel usw. verwendet.
DOT-ID-Nummer UN1982 DOT/IMO-VERSANDNAME: Tetrafluormethan, komprimiertes Gas oder Kältemittel R14
    DOT-Gefahrenklasse Klasse 2.2
Artikel

Wert, Note I

Wert, Klasse II

Einheit

Reinheit

≥99,999

≥99,9997

%

O2 

≤1,0

≤0,5

ppmv

N2 

≤4,0

≤1,0

ppmv

CO

≤0,1

≤0,1

ppmv

CO2 

≤1,0

≤0,5

ppmv

SF6 

≤0,8

≤0,2

ppmv

Andere Fluorkohlenwasserstoffe

≤1,0

≤0,5

ppmv

H2O

≤1,0

≤0,5

ppmv

H2

≤1,0

——

ppmv

Säure

≤0,1

≤0,1

ppmv

*Andere Fluorkohlenwasserstoffe beziehen sich auf C2F6,C3F8

Anmerkungen
1) Alle oben angegebenen technischen Daten dienen als Referenz.
2) Alternativspezifikationen sind zur weiteren Diskussion willkommen.


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