Produktoj
Karbontetrafluorido
Tetrafluorometano, ankaŭ konata kiel karbona tetrafluorido, estas la plej simpla fluorokarbono (CF4).Ĝi havas tre altan ligan forton pro la naturo de la karbon-fluora ligo.Ĝi ankaŭ povas esti klasifikita kiel aŭreoloalkano aŭ halometano.Pro la multoblaj karbon-fluoraj obligacioj, kaj la plej alta elektronegativeco de fluoro, la karbono en tetrafluorometano havas signifan pozitivan partan ŝargon kiu fortigas kaj mallongigas la kvar karbon-fluorajn ligojn disponigante kroman jonan karakteron.Tetrafluorometano estas potenca forceja gaso.
Tetrafluorometano foje estas utiligita kiel malalttemperatura fridigaĵo.Ĝi estas uzata en elektronika mikrofabrikado sole aŭ en kombinaĵo kun oksigeno kiel plasmogravurilo por silicio, silicia dioksido kaj silicia nitruro.
| Kemia formulo | CF4 | Molekula pezo | 88 |
| CAS No. | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
| Fandpunkto | -184℃ | Boling punkto | -128.1℃ |
| solvebleco | Nesolvebla en akvo | Denso | 1,96 g/cm³（-184℃） |
| Aspekto | Senkolora, senodora, nebrulema, kunpremebla gaso | Apliko | uzata en plasma akvaforta procezo por diversaj integraj cirkvitoj, kaj uzata ankaŭ kiel lasera gaso, fridigaĵo ktp. |
| DOT ID-Numero | UN1982 | PUNKTO/IMO SENDNOMO: | Tetrafluorometano, Kunpremita aŭ Fridiga Gaso R14 |
| DOT Danĝera Klaso | Klaso 2.2 |
| Ero | Valoro, grado I | Valoro, II grado | Unuo |
| Pureco | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Aliaj fluorokarbonoj | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Acideco | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *aliaj fluorokarbonoj rilatas al C2F6、C3F8 | |||
Notoj
1) ĉiuj teknikaj datumoj indikitaj supre estas por via referenco.
2) alternativa specifo estas bonvena por plua diskuto.
