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Oxígeno puro, oxígeno de alta pureza, oxígeno ultrapuro (O2)
| Artículo | Propiedad técnica | ||
| Oxígeno puro | Oxígeno de alta pureza | Oxígeno ultrapuro | |
| Oxígeno (O2) pureza (fracción de volumen)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| Hidrógeno (H2) contenido (fracción de volumen)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| Contenido de argón (Ar) (fracción de volumen)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| Nitrógeno (N2) contenido (fracción de volumen)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| Dióxido de carbono (CO2) contenido (fracción de volumen)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| Contenido total de hidrocarburos (fracción de volumen) (calculado por metano)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
| Agua (H2O) contenido (fracción de volumen)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Campo de aplicación: se utiliza principalmente en la preparación de mezclas de gases estándar, investigación científica, producción de circuitos integrados y dispositivos semiconductores y otros campos con altos requisitos de pureza de oxígeno.
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