Ese | Tehniline vara |
Kõrge puhtusastmega heelium | |
Heelium He puhtus (mahufraktsioon)/10-2≥ | 99.999 |
Neooni (Ne) sisaldus (mahufraktsioon) / 10-6≤ | 4 |
Vesinik (H2) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6 ≤ | 1 |
Hapnik (O2) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6 ≤ | 1 |
Argooni (Ar) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6 ≤ | |
Lämmastik (N2) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6 ≤ | 2 |
Süsinikmonooksiidi (CO) sisaldus (mahufraktsioon) / 10-6≤ | 0,5 |
Süsinikdioksiid (CO2) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 0,5 |
Metaan (CH4) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 0,5 |
Vesi H2O-sisaldus (mahufraktsioon) / 10-6≤ | 3 |
Ajakirja kogusisu/10-6≤ | 10 |