Ese | Tehniline vara | ||
Kõrge puhtusastmega krüptoon GB/T5829-2006 | Ülipuhas krüptoon | ||
Kr puhtus (mahufraktsioon)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
Lämmastik (N2) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 2 | 1.5 | 0,2 |
Hapnik (O2) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 1,5 (O2+Ar) | 0,5 (O2+Ar) | 0,1 |
Argooni (Ar) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 0,05 | ||
Vesinik (H2) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 0,5 | 0,2 | 0,05 |
Süsinikmonooksiidi (CO) sisaldus (mahufraktsioon) / 10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Süsinikdioksiid (CO2) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 0,4 | 0,1 | 0,05 |
Metaan (CH4) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Vesi (H2O) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,2 |
Ksenooni (Xe) sisaldus (mahufraktsioon) / 10-6≤ | 2 | 1 | 0,2 |
Fluoriid (CF4) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 1 | 0,2 | 0,05 |
Kasutusala: kasutatakse peamiselt pooljuhtide tööstuses, elektrilise vaakumi tööstuses, elektriliste valgusallikate tööstuses, samuti lasergaasi, meditsiini ja muudes valdkondades.