Ese | Tehniline vara | ||
Puhas hapnik | Kõrge puhtusastmega hapnik | Ülipuhas hapnik | |
Hapnik (O2) puhtus (mahufraktsioon)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
Vesinik (H2) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Argooni (Ar) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
Lämmastik (N2) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
Süsinikdioksiid (CO2) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Süsivesinike kogusisaldus (mahufraktsioon) (arvutatud metaani järgi)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
Vesi (H2O) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Kasutusala: kasutatakse peamiselt standardgaaside segude valmistamisel, teadusuuringutes, integraallülituste ja pooljuhtseadmete tootmisel ning muudes valdkondades, kus hapniku puhtuse osas on kõrged nõuded.