Produktuak
Karbono tetrafluoruroa
Tetrafluorometanoa, karbono tetrafluoruroa izenez ere ezaguna, fluorokarburo sinpleena da (CF4).Lotura-indarra oso handia du karbono-fluor loturaren izaera dela eta.Haloalkano edo halometano gisa ere sailka daiteke.Karbono-fluor-lotura anitzak direla eta, eta fluoraren elektronegatibitate handiena dela-eta, tetrafluorometanoko karbonoak karga partzial positibo esanguratsua du, eta karbono-fluorraren lau loturak indartu eta laburtzen ditu, izaera ioniko gehigarria emanez.Tetrafluorometanoa berotegi-efektuko gas indartsua da.
Tetrafluorometanoa batzuetan tenperatura baxuko hozgarri gisa erabiltzen da.Elektronika mikrofabrikazioan bakarrik edo oxigenoarekin konbinatuta silizioaren, silizio dioxidoaren eta silizio nitruroaren plasma grabatzaile gisa erabiltzen da.
| Formula kimikoa | CF4 | Pisu molekularra | 88 |
| CAS zenbakia. | 75-73-0 | EINECS zenbakia. | 200-896-5 |
| Urtze-puntua | -184℃ | Boling puntua | -128,1 ℃ |
| disolbagarritasuna | Uretan disolbaezina | Dentsitatea | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Itxura | Kolorerik gabeko gasa, usainik gabea, sukoia eta konprimigarria | Aplikazio | Plasma grabatzeko prozesuetan erabiltzen da hainbat zirkuitu integratutarako, eta laser gas, hozgarri eta abar gisa ere erabiltzen da. |
| DOT ID zenbakia | UN1982 | DOT/IMO BIdalketaren IZENA: | Tetrafluorometanoa, gas konprimitua edo hozgarria R14 |
| DOT Arrisku Klasea | 2.2 klasea |
| Elementua | Balioa, I. maila | Balioa, II | Unitatea |
| Garbitasuna | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Beste fluorokarburo batzuk | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Azidotasuna | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *Beste fluorokarburo batzuek C-i erreferentzia egiten diote2F6、C3F8 | |||
Oharrak
1) Goian adierazitako datu tekniko guztiak zure erreferentziarako dira.
2) zehaztapen alternatiboak ongi etorriak dira eztabaida gehiagorako.
