Elementua | Jabetza Teknikoa | ||
Nitrogeno purua | Nitrogeno purua | Nitrogeno ultrapuroa | |
Nitrogenoa (N2) purutasuna (bolumen-frakzioa)/10-2≥ | 99,99 | 99.999 | 99.9999 |
Oxigenoa (O2) edukia (bolumen-frakzioa)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
Argon (Ar) edukia (bolumen-frakzioa)/10-6≤ | - | - | 2 |
Hidrogenoa (H2) edukia (bolumen-frakzioa)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
Karbono monoxidoaren (CO) edukia (bolumen-frakzioa)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
Karbono dioxidoa (CO2) edukia (bolumen-frakzioa)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
Metanoa (CH4) edukia (bolumen-frakzioa)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
Ura (H2O) edukia (bolumen-frakzioa)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |