مورد | ویژگی فنی | |
خلوص آرگون (Ar) (کسر حجمی)/10-2≥ | ۹۹.۹۹۹۹ | ۹۹.۹۹۹۲ |
هیدروژن (H2)2) محتوا (کسر حجمی) / 10-6≤ | ۰.۱ | 1 |
نیتروژن (N)2) محتوا (کسر حجمی) / 10-6≤ | ۰.۵ | 5 |
اکسیژن (O2)2) محتوا (کسر حجمی) / 10-6≤ | ۰.۲ | ۰.۵ |
محتوای کل مونوکسید کربن (CO) و دی اکسید کربن (CO2)2), (کسر حجمی)/10-6≤ | مونوکسید کربن: ۰.۱ دی اکسید کربن: 0.1 | ۰.۵ |
کل هیدروکربن (محاسبه شده توسط متان) (کسر حجمی) / 10-6≤ | ۰.۱ | ۰.۵ |
آب (ح2O) محتوا (کسر حجمی)/10-6≤ | ۰.۲ | ۰.۵ |
کل محتوای ناخالصی (کسر حجمی)/10-6≤ | 1 | 8 |
غلات | مورد توافق تامین کننده و متقاضی | مورد توافق تامین کننده و متقاضی |
نکته: میزان آب آرگون مایع باید پس از گازسازی اندازهگیری شود. |
زمینه کاربرد: عمدتاً برای پاکسازی، محافظت و افزایش فشار سیستم استفاده میشود. همچنین میتواند در رسوب بخار شیمیایی، کندوپاش، حکاکی پلاسما و یون فعال، آنیل و سایر فرآیندهای مختلف و همچنین در گازهای مخلوط ویژه الکترونیکی مورد استفاده قرار گیرد.