مورد | ویژگی فنی | ||
اکسیژن خالص | اکسیژن با خلوص بالا | اکسیژن فوق خالص | |
اکسیژن (O2)2) خلوص (کسر حجمی)/10-2≥ | ۹۹.۹۹۵ | ۹۹.۹۹۹ | ۹۹.۹۹۹۹ |
هیدروژن (H2)2) محتوا (کسر حجمی) / 10-6≤ | 1 | ۰.۵ | ۰.۱ |
محتوای آرگون (Ar) (کسر حجمی)/10-6≤ | 10 | 2 | ۰.۲ |
نیتروژن (N)2) محتوا (کسر حجمی) / 10-6≤ | 20 | 5 | ۰.۱ |
دی اکسید کربن (CO2)2) محتوا (کسر حجمی) / 10-6≤ | 1 | ۰.۵ | ۰.۱ |
کل محتوای هیدروکربن (کسر حجمی) (محاسبه شده توسط متان) / 10-6≤ | 2 | ۰.۵ | ۰.۱ |
آب (ح2O) محتوا (کسر حجمی)/10-6≤ | 3 | 2 | ۰.۵ |
زمینه کاربرد: عمدتاً در تهیه مخلوط گاز استاندارد، تحقیقات علمی، تولید مدارهای مجتمع و دستگاههای نیمههادی و سایر زمینههایی که نیاز به خلوص بالای اکسیژن دارند، استفاده میشود.