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Tétrafluorure de carbone
Le tétrafluorométhane, également connu sous le nom de tétrafluorure de carbone, est le fluorocarbone (CF4) le plus simple.Il possède une force de liaison très élevée en raison de la nature de la liaison carbone-fluor.Il peut également être classé comme haloalcane ou halométhane.En raison des multiples liaisons carbone-fluor et de l'électronégativité la plus élevée du fluor, le carbone du tétrafluorométhane a une charge partielle positive significative qui renforce et raccourcit les quatre liaisons carbone-fluor en fournissant un caractère ionique supplémentaire.Le tétrafluorométhane est un puissant gaz à effet de serre.
Le tétrafluorométhane est parfois utilisé comme réfrigérant à basse température.Il est utilisé dans la microfabrication électronique seul ou en combinaison avec de l'oxygène comme agent d'attaque plasma pour le silicium, le dioxyde de silicium et le nitrure de silicium.
| Formule chimique | CF4 | Masse moléculaire | 88 |
| N ° CAS. | 75-73-0 | Numéro EINECS. | 200-896-5 |
| Point de fusion | -184 ℃ | Point culminant | -128,1 ℃ |
| solubilité | Insoluble dans l'eau | Densité | 1,96 g/cm³（-184 ℃） |
| Apparence | Un gaz incolore, inodore, ininflammable et compressible | Application | utilisé dans le processus de gravure au plasma pour divers circuits intégrés, et également utilisé comme gaz laser, réfrigérant, etc. |
| Numéro d'identification DOT | ONU1982 | NOM D’EXPÉDITION DOT/IMO : | Tétrafluorométhane, gaz comprimé ou réfrigérant R14 |
| Classe de danger DOT | Classe 2.2 |
| Article | Valeur, grade I | Valeur, grade II | Unité |
| Pureté | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Autres fluorocarbures | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Acidité | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *les autres fluorocarbures font référence à C2F6、C3F8 | |||
Remarques
1) toutes les données techniques indiquées ci-dessus sont pour votre référence.
2) une spécification alternative est la bienvenue pour une discussion plus approfondie.
