Ûnderdiel | Technyske Eigendom | ||
Krypton mei hege suverens GB/T5829-2006 | Ultrasuvere krypton | ||
Kr suverens (folumefraksje)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
Stikstof (N2) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 2 | 1.5 | 0.2 |
Soerstof (O2) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 1.5(O2+Ar) | 0.5(O2+Ar) | 0.1 |
Argon (Ar) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 0.05 | ||
Wetterstof (H2) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 0.5 | 0.2 | 0.05 |
Koalmonokside (CO) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
Koalstofdiokside (CO2) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 0.4 | 0.1 | 0.05 |
Metaan (CH4) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
Wetter (H2O) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.2 |
Xenon (Xe) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.2 |
Fluoride (CF4) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 1 | 0.2 | 0.05 |
Tapassingsfjild: benammen brûkt yn healgeleideryndustry, elektryske fakuümyndustry, elektryske ljochtboarneyndustry, lykas lasergas, medyske sûnens en oare fjilden