Ûnderdiel | Technyske Eigendom | ||
Suvere stikstof | Hege suverens stikstof | Ultrapure stikstof | |
Stikstof (N2) suverens (folumefraksje)/10-2≥ | 99,99 | 99.999 | 99.9999 |
Soerstof (O2) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
Argon (Ar) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | - | - | 2 |
Wetterstof (H2) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
Koalmonokside (CO) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
Koalstofdiokside (CO2) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
Metaan (CH4) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
Wetter (H2O) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 15 | 3 | 0.5 |