Ûnderdiel | Technyske Eigendom | ||
Suvere soerstof | Hege suverens soerstof | Ultrapure soerstof | |
Soerstof (O2) suverens (folumefraksje)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
Wetterstof (H2) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Argon (Ar) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
Stikstof (N2) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
Koalstofdiokside (CO2) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Totale koalwetterstofynhâld (folumefraksje) (berekkene troch metaan)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
Wetter (H2O) ynhâld (folumefraksje)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Tapassingsfjild: benammen brûkt yn 'e tarieding fan standert gasmingsels, wittenskiplik ûndersyk, produksje fan yntegreare circuits en healgeleiderapparaten, en oare fjilden mei hege easken foar soerstofsuverens.