Elemento | Propiedade técnica | |
Pureza do argón (Ar) (fracción volumétrica)/10-2≥ | 99,9999 | 99,9992 |
Hidróxeno (H2) contido (fracción volumétrica)/10-6≤ | 0,1 | 1 |
Nitróxeno (N2) contido (fracción volumétrica)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
Osíxeno (O2) contido (fracción volumétrica)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
Contido total de monóxido de carbono (CO) e dióxido de carbono (CO2), (fracción de volume)/10-6≤ | Monóxido de carbono: 0,1 Dióxido de carbono: 0,1 | 0,5 |
Contido total de hidrocarburos (calculado polo metano) (fracción volumétrica)/10-6≤ | 0,1 | 0,5 |
Auga (H2contido de O) (fracción volumétrica)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
Contido total de impurezas (fracción volumétrica)/10-6≤ | 1 | 8 |
Gran | Acordado polo provedor e o demandante | Acordado polo provedor e o demandante |
Nota: O contido de auga do argón líquido debe medirse despois da gasificación. |
Campo de aplicación: úsase principalmente para a purga, protección e presurización do sistema. Tamén se pode empregar en deposición química de vapor, pulverización catódica, gravado por plasma e ións activos, recocido e outros procesos diferentes, así como en mesturas de gases especiais electrónicas.