Elemento | Propiedade técnica |
Helio de alta pureza | |
Pureza do helio He (fracción volumétrica)/10-2≥ | 99.999 |
Contido de neón (Ne) (fracción volumétrica)/10-6≤ | 4 |
Hidróxeno (H2) contido (fracción volumétrica)/10-6 ≤ | 1 |
Osíxeno (O2) contido (fracción volumétrica)/10-6 ≤ | 1 |
Contido de argón (Ar) (fracción volumétrica)/10-6 ≤ | |
Nitróxeno (N2) contido (fracción volumétrica)/10-6 ≤ | 2 |
Contido de monóxido de carbono (CO) (fracción volumétrica)/10-6≤ | 0,5 |
dióxido de carbono (CO2) contido (fracción volumétrica)/10-6≤ | 0,5 |
Metano (CH4) contido (fracción volumétrica)/10-6≤ | 0,5 |
Auga H2contido de O (fracción volumétrica)/10-6≤ | 3 |
Contido total da revista/10-6≤ | 10 |