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उच्च शुद्धता ज़ेनॉन और अल्ट्रा-शुद्ध ज़ेनॉन (Xe: 5N, 5.5N, 6N)
| वस्तु | तकनीकी संपत्ति | ||
| उच्च शुद्धता ज़ेनॉन जीबी/टी5828-2006 | अल्ट्राप्योर ज़ेनॉन | ||
| ज़ेनॉन (Xe) शुद्धता (आयतन अंश)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
| नाइट्रोजन (N2) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
| ऑक्सीजन (O2) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 1.5(ओ2+आर) | 0.5(ओ2+आर) | 0.1 |
| आर्गन (Ar) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.05 | ||
| हाइड्रोजन (H2) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
| कार्बन मोनोऑक्साइड (CO) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(सीओ+सीओ2) |
| कार्बन डाइऑक्साइड (CO2) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
| मीथेन(CH4) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
| पानी (एच2ओ) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| क्रिप्टन (Kr) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| नाइट्रस ऑक्साइड (N2ओ) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
| फ्लोराइड (सी2F6) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
| फ्लोराइड(एसएफ6) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | एन/ए | एन/ए | 0.05 |
अनुप्रयोग क्षेत्र: मुख्य रूप से अर्धचालक उद्योग, एयरोस्पेस, विद्युत प्रकाश स्रोत उद्योग, चिकित्सा उपचार, विद्युत वैक्यूम, डार्क मैटर अनुसंधान, लेजर और अन्य क्षेत्रों में उपयोग किया जाता है
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