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शुद्ध नाइट्रोजन, उच्च शुद्ध नाइट्रोजन, अति शुद्ध नाइट्रोजन (N2)
| वस्तु | तकनीकी संपत्ति | ||
| शुद्ध नाइट्रोजन | उच्च शुद्धता नाइट्रोजन | अल्ट्रा शुद्ध नाइट्रोजन | |
| नाइट्रोजन (N2) शुद्धता (आयतन अंश)/10-2≥ | 99.99 | 99.999 | 99.9999 |
| ऑक्सीजन (O2) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
| आर्गन (Ar) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | - | - | 2 |
| हाइड्रोजन (H2) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
| कार्बन मोनोऑक्साइड (CO) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| कार्बन डाइऑक्साइड (CO2) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
| मीथेन(CH4) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| पानी (एच2ओ) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 15 | 3 | 0.5 |
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