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शुद्ध ऑक्सीजन, उच्च शुद्धता ऑक्सीजन, अति शुद्ध ऑक्सीजन (O2)
| वस्तु | तकनीकी संपत्ति | ||
| शुद्ध ऑक्सीजन | उच्च शुद्धता ऑक्सीजन | अल्ट्रा शुद्ध ऑक्सीजन | |
| ऑक्सीजन (O2) शुद्धता (आयतन अंश)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| हाइड्रोजन (H2) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| आर्गन (Ar) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| नाइट्रोजन (N2) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| कार्बन डाइऑक्साइड (CO2) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| कुल हाइड्रोकार्बन सामग्री (आयतन अंश) (मीथेन द्वारा गणना)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
| पानी (एच2ओ) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
अनुप्रयोग क्षेत्र: मुख्य रूप से मानक गैस मिश्रण की तैयारी, वैज्ञानिक अनुसंधान, एकीकृत सर्किट और अर्धचालक उपकरणों के उत्पादन, और ऑक्सीजन शुद्धता के लिए उच्च आवश्यकताओं वाले अन्य क्षेत्रों में उपयोग किया जाता है।
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