Artikal | Tehnička imovina |
Helij visoke čistoće | |
Čistoća helija He (volumni udio)/10-2≥ | 99,999 |
Sadržaj neona (Ne) (volumni udio)/10-6≤ | 4 |
Vodik (H2) sadržaj (volumni udio)/10-6 ≤ | 1 |
Kisik (O2) sadržaj (volumni udio)/10-6 ≤ | 1 |
Sadržaj argona (Ar) (volumni udio)/10-6 ≤ | |
Dušik (N2) sadržaj (volumni udio)/10-6 ≤ | 2 |
Sadržaj ugljičnog monoksida (CO) (volumni udio)/10-6≤ | 0,5 |
Ugljikov dioksid (CO2) sadržaj (volumni udio)/10-6≤ | 0,5 |
Metan (CH4) sadržaj (volumni udio)/10-6≤ | 0,5 |
Voda H2Sadržaj O (volumni udio)/10-6≤ | 3 |
Ukupni sadržaj časopisa/10-6≤ | 10 |