Termékek
Szén-tetrafluorid
A tetrafluor-metán, más néven szén-tetrafluorid, a legegyszerűbb fluor-szénhidrogén (CF4).A szén-fluor kötés természetéből adódóan nagyon nagy kötési szilárdsággal rendelkezik.Haloalkánok vagy halometánok közé is sorolható.A többszörös szén-fluor kötések és a fluor legmagasabb elektronegativitása miatt a tetrafluor-metánban lévő szén jelentős pozitív részleges töltéssel rendelkezik, amely erősíti és lerövidíti a négy szén-fluor kötést azáltal, hogy további ionos karaktert biztosít.A tetrafluor-metán erős üvegházhatású gáz.
A tetrafluor-metánt néha alacsony hőmérsékletű hűtőközegként használják.Az elektronikai mikrogyártásban önmagában vagy oxigénnel kombinálva használják szilícium, szilícium-dioxid és szilícium-nitrid plazmamarásaként.
| Kémiai formula | CF4 | Molekuláris tömeg | 88 |
| CAS-szám | 75-73-0 | EINECS sz. | 200-896-5 |
| Olvadáspont | -184 ℃ | Boling pont | -128,1 ℃ |
| oldhatóság | Vízben oldhatatlan | Sűrűség | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Kinézet | Színtelen, szagtalan, nem gyúlékony, összenyomható gáz | Alkalmazás | plazmamaratási eljárásban használják különféle integrált áramkörökhöz, valamint lézergázként, hűtőközegként stb. |
| DOT ID szám | UN1982 | DOT/IMO SZÁLLÍTÁSI NÉV: | Tetrafluor-metán, sűrített vagy hűtőgáz R14 |
| DOT veszélyességi osztály | osztály 2.2 |
| Tétel | Érték, I. fokozat | Érték, fokozat II | Mértékegység |
| Tisztaság | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Egyéb fluor-szénhidrogének | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Savasság | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *más fluor-szénhidrogének C-re utalnak2F6、C3F8 | |||
Megjegyzések
1) a fent jelzett összes műszaki adat tájékoztató jellegű.
2) az alternatív specifikáció további megvitatásra vár.
