Produk
Karbon Tetrafluorida
Tetrafluorometana, juga dikenal sebagai karbon tetrafluorida, adalah fluorokarbon paling sederhana (CF4).Ia memiliki kekuatan ikatan yang sangat tinggi karena sifat ikatan karbon-fluor.Ia juga dapat diklasifikasikan sebagai haloalkana atau halometana.Karena banyaknya ikatan karbon-fluor, dan elektronegativitas fluor tertinggi, karbon dalam tetrafluorometana memiliki muatan parsial positif signifikan yang memperkuat dan memperpendek keempat ikatan karbon-fluor dengan memberikan karakter ionik tambahan.Tetrafluoromethane adalah gas rumah kaca yang kuat.
Tetrafluorometana terkadang digunakan sebagai zat pendingin bersuhu rendah.Ini digunakan dalam fabrikasi mikro elektronik sendiri atau dalam kombinasi dengan oksigen sebagai etsa plasma untuk silikon, silikon dioksida, dan silikon nitrida.
| Rumus kimia | CF4 | Berat molekul | 88 |
| Nomer CAS. | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
| Titik lebur | -184℃ | Titik tebal | -128.1℃ |
| kelarutan | Tidak larut dalam air | Kepadatan | 1,96g/cm³（-184℃） |
| Penampilan | Gas yang tidak berwarna, tidak berbau, tidak mudah terbakar, dan dapat dikompresi | Aplikasi | digunakan dalam proses etsa plasma untuk berbagai sirkuit terpadu, dan digunakan juga sebagai gas laser, pendingin, dll. |
| Nomor ID TITIK | PBB1982 | NAMA PENGIRIMAN DOT/IMO: | Tetrafluorometana, Gas Terkompresi atau Pendingin R14 |
| Kelas Bahaya DOT | Kelas 2.2 |
| Barang | Nilai, kelas I | Nilai, kelas II | Satuan |
| Kemurnian | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0.2 | ppmv |
| Fluorokarbon lainnya | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Keasaman | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *fluorokarbon lainnya mengacu pada C2F6,C3F8 | |||
Catatan
1) semua data teknis yang disebutkan di atas adalah untuk referensi Anda.
2) spesifikasi alternatif dipersilakan untuk diskusi lebih lanjut.
