Barang | Properti Teknis | ||
Oksigen murni | Oksigen dengan kemurnian tinggi | Oksigen ultra murni | |
Oksigen (O2) kemurnian (fraksi volume)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
Hidrogen (H2) konten (fraksi volume)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Kandungan Argon (Ar) (fraksi volume)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
Nitrogen (N2) konten (fraksi volume)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
Karbon dioksida (CO2) konten (fraksi volume)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Total kandungan hidrokarbon (fraksi volume) (dihitung berdasarkan metana)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
Air (H2O) konten (fraksi volume)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Bidang aplikasi: terutama digunakan dalam persiapan campuran gas standar, penelitian ilmiah, produksi sirkuit terpadu dan perangkat semikonduktor, dan bidang lain dengan persyaratan tinggi untuk kemurnian oksigen.