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Gas argon per l'industria elettronica (Ar)
| Articolo | Proprietà tecnica | |
| Purezza dell'argon (Ar) (frazione di volume)/10-2≥ | 99,9999 | 99,9992 |
| Idrogeno (H2) contenuto (frazione di volume)/10-6≤ | 0,1 | 1 |
| Azoto (N2) contenuto (frazione di volume)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
| Ossigeno (O2) contenuto (frazione di volume)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Contenuto totale di monossido di carbonio (CO) e anidride carbonica (CO2), (frazione di volume)/10-6≤ | Monossido di carbonio: 0,1 Anidride carbonica: 0,1 | 0,5 |
| Contenuto totale di idrocarburi (calcolato in base al metano) (frazione di volume)/10-6≤ | 0,1 | 0,5 |
| Acqua (H2O) contenuto (frazione di volume)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Contenuto totale di impurità (frazione di volume)/10-6≤ | 1 | 8 |
| Grano | Concordato tra il Fornitore e il Richiedente | Concordato tra il Fornitore e il Richiedente |
| Nota: il contenuto di acqua dell'argon liquido deve essere misurato dopo la gassificazione | ||
Campo di applicazione: utilizzato principalmente per la pulizia, la protezione e la pressurizzazione del sistema. Può essere utilizzato anche nella deposizione chimica da vapore, sputtering, attacco al plasma e con ioni attivi, ricottura e altri processi diversi, nonché in miscele di gas speciali per l'elettronica.
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