Articolo | Proprietà tecnica | ||
Azoto puro | Azoto ad alta purezza | Azoto ultrapuro | |
Azoto (N2) purezza (frazione di volume)/10-2≥ | 99,99 | 99,999 | 99,9999 |
Ossigeno (O2) contenuto (frazione di volume)/10-6≤ | 50 | 3 | 0,1 |
Contenuto di argon (Ar) (frazione di volume)/10-6≤ | - | - | 2 |
Idrogeno (H2) contenuto (frazione di volume)/10-6≤ | 15 | 1 | 0,1 |
Contenuto di monossido di carbonio (CO) (frazione di volume)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
Anidride carbonica (CO2) contenuto (frazione di volume)/10-6≤ | 10 | 1 | 0,1 |
Metano (CH4) contenuto (frazione di volume)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
Acqua (H2O) contenuto (frazione di volume)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |