פָּרִיט | נכס טכני | ||
קסנון טוהר גבוה GB/T5828-2006 | קסנון אולטרה-טהור | ||
טוהר קסנון (Xe) (חלק נפחי)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
חנקן (N2) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
חמצן (O2) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 1.5(O2+Ar) | 0.5(O2+Ar) | 0.1 |
תכולת ארגון (Ar) (חלק נפחי)/10-6≤ | 0.05 | ||
מימן (H2) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
תכולת פחמן חד-חמצני (CO) (חלק נפחי)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO+CO2) |
תכולת פחמן דו-חמצני (CO2) (חלק נפחי)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
מתאן (CH4) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
מים (H2O) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
תכולת קריפטון (Kr) (חלק נפחי)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
תחמוצת חנקן (N2O) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
פלואוריד (C2F6) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
פלואוריד (SF6) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | לא רלוונטי | לא רלוונטי | 0.05 |
תחומי יישום: משמש בעיקר בתעשיית המוליכים למחצה, תעופה וחלל, תעשיית מקורות אור חשמליים, טיפול רפואי, ואקום חשמלי, מחקר חומר אפל, לייזר ותחומים אחרים