פָּרִיט | נכס טכני | ||
חנקן טהור | חנקן טוהר גבוה | חנקן אולטרה-טהור | |
חנקן (N2) טוהר (חלק נפחי)/10-2≥ | 99.99 | 99.999 | 99.9999 |
חמצן (O2) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
תכולת ארגון (Ar) (חלק נפחי)/10-6≤ | - | - | 2 |
מימן (H2) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
תכולת פחמן חד-חמצני (CO) (חלק נפחי)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
פחמן דו-חמצני (CO2) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
מתאן (CH4) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
מים (H2O) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 15 | 3 | 0.5 |