פָּרִיט | נכס טכני | ||
חמצן טהור | חמצן טוהר גבוה | חמצן אולטרה-טהור | |
חמצן (O2) טוהר (חלק נפחי)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
מימן (H2) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
תכולת ארגון (Ar) (חלק נפחי)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
חנקן (N2) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
פחמן דו-חמצני (CO2) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
תכולת פחמימנים כוללת (חלק נפחי) (מחושב לפי מתאן)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
מים (H2O) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
תחום יישום: משמש בעיקר בהכנת תערובת גז סטנדרטית, מחקר מדעי, ייצור מעגלים משולבים והתקני מוליכים למחצה, ותחומים אחרים עם דרישות גבוהות לטוהר החמצן.