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四フッ化炭素
四フッ化炭素としても知られるテトラフルオロメタンは、最も単純なフルオロカーボン (CF4) です。炭素とフッ素の結合の性質により、非常に高い結合強度を持っています。ハロアルカンまたはハロメタンとして分類することもできます。複数の炭素 - フッ素結合とフッ素の最も高い電気陰性度のため、テトラフルオロメタン中の炭素はかなりの正の部分電荷を持ち、追加のイオン性を与えることで 4 つの炭素 - フッ素結合を強化および短縮します。テトラフルオロメタンは強力な温室効果ガスです。
テトラフルオロメタンは低温冷媒として使用されることがあります。エレクトロニクス微細加工において、シリコン、二酸化シリコン、窒化シリコンのプラズマエッチング剤として単独または酸素と組み合わせて使用されます。
| 化学式 | CF4 | 分子量 | 88 |
| CAS番号 | 75-73-0 | アイネックスNo. | 200-896-5 |
| 融点 | -184℃ | ボーリングポイント | -128.1℃ |
| 溶解度 | 水に不溶 | 密度 | 1.96g/cm3（-184℃） |
| 外観 | 無色、無臭、不燃性の圧縮性ガス | 応用 | 各種集積回路のプラズマエッチング工程に使用されるほか、レーザーガス、冷媒などとしても使用されます。 |
| DOT ID 番号 | UN1982 | ドット/IMO 配送名: | テトラフルオロメタン、圧縮ガスまたは冷媒ガス R14 |
| DOT 危険クラス | クラス2.2 |
| アイテム | 値、グレード I | 値、グレード II | ユニット |
| 純度 | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| その他のフロン類 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| 酸度 | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *その他のフロン類はCを指します2F6、C3F8 | |||
ノート
1) 上記のすべての技術データは参考用です。
2) 代替仕様については、さらなる議論を歓迎します。
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