アイテム | 技術的財産 |
高純度ヘリウム | |
ヘリウム純度(体積分率)/10-2≥ | 99.999 |
ネオン(Ne)含有量(体積分率)/10-6≤ | 4 |
水素(H2)含有量(体積分率)/10-6 ≤ | 1 |
酸素(O2)含有量(体積分率)/10-6 ≤ | 1 |
アルゴン(Ar)含有量(体積分率)/10-6 ≤ | |
窒素(N2)含有量(体積分率)/10-6 ≤ | 2 |
一酸化炭素(CO)含有量(体積分率)/10-6≤ | 0.5 |
二酸化炭素(CO2)含有量(体積分率)/10-6≤ | 0.5 |
メタン(CH4)含有量(体積分率)/10-6≤ | 0.5 |
水H2O含有量(体積分率)/10-6≤ | 3 |
雑誌コンテンツ総数/10-6≤ | 10 |