アイテム | 技術的財産 |
アルゴン(Ar)純度(体積分率)/10-2≥ | 99.999 |
水素(H2)含有量(体積分率)/10-6≤ | 0.5 |
酸素(O2)含有量(体積分率)/10-6≤ | 1.5 |
窒素(N2)含有量(体積分率)/10-6≤ | 4 |
メタン(CH4)含有量(体積分率)/10-6≤ | 0.4 |
一酸化炭素(CO)含有量(体積分率)/10-6≤ | 0.3 |
二酸化炭素(CO2)含有量(体積分率)/10-6≤ | 0.3 |
水(H2O)含有量(体積分率)/10-6≤ | 3 |
注: 液体アルゴンは水分含有量を検出しません |