アイテム | 技術的財産 | ||
高純度クリプトン GB/T5829-2006 | 超高純度クリプトン | ||
Kr純度(体積分率)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
窒素(N2)含有量(体積分率)/10-6≤ | 2 | 1.5 | 0.2 |
酸素(O2)含有量(体積分率)/10-6≤ | 1.5(O2+Ar) | 0.5(O2+Ar) | 0.1 |
アルゴン(Ar)含有量(体積分率)/10-6≤ | 0.05 | ||
水素(H2)含有量(体積分率)/10-6≤ | 0.5 | 0.2 | 0.05 |
一酸化炭素(CO)含有量(体積分率)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
二酸化炭素(CO2)含有量(体積分率)/10-6≤ | 0.4 | 0.1 | 0.05 |
メタン(CH4)含有量(体積分率)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
水(H2O)含有量(体積分率)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.2 |
キセノン(Xe)含有量(体積分率)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.2 |
フッ化物(CF4)含有量(体積分率)/10-6≤ | 1 | 0.2 | 0.05 |
応用分野:主に半導体産業、電気真空産業、電気光源産業、レーザーガス、医療健康などの分野で使用されています