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純酸素、高純度酸素、超純酸素（O2）
| アイテム | 技術的財産 | ||
| 純酸素 | 高純度酸素 | 超純酸素 | |
| 酸素（O2）純度（体積分率）/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| 水素（H2）含有量（体積分率）/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| アルゴン（Ar）含有量（体積分率）/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| 窒素（N2）含有量（体積分率）/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| 二酸化炭素（CO2）含有量（体積分率）/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| 総炭化水素含有量（体積分率）（メタンで計算）/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
| 水（H2O)含有量（体積分率）/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
応用分野: 主に標準ガス混合物の製造、科学研究、集積回路および半導体デバイスの製造、および酸素純度に対する要求が高いその他の分野に使用されます。
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