ნივთი | ტექნიკური საკუთრება | ||
სუფთა აზოტი | მაღალი სისუფთავის აზოტი | ულტრასუფთა აზოტი | |
აზოტი (N2) სისუფთავე (მოცულობითი ფრაქცია)/10-2≥ | 99.99 | 99.999 | 99.9999 |
ჟანგბადი (O2) შემცველობა (მოცულობითი წილი)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
არგონის (Ar) შემცველობა (მოცულობითი ფრაქცია)/10-6≤ | - | - | 2 |
წყალბადი (H2) შემცველობა (მოცულობითი წილი)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
ნახშირბადის მონოქსიდის (CO) შემცველობა (მოცულობითი ფრაქცია)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
ნახშირორჟანგი (CO2) შემცველობა (მოცულობითი წილი)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
მეთანი (CH4) შემცველობა (მოცულობითი წილი)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
წყალი (H2O) შემცველობა (მოცულობითი ფრაქცია)/10-6≤ | 15 | 3 | 0.5 |