Өнімдер
Көміртек тетрафториді
Тетрафторметан, сонымен қатар көміртегі тетрафториді ретінде белгілі, ең қарапайым фторкөміртек (CF4).Көміртек-фтор байланысының табиғатына байланысты өте жоғары байланыс күші бар.Оны галоалкан немесе галометан ретінде де жіктеуге болады.Көптеген көміртегі-фтор байланыстары және фтордың ең жоғары электртерістігі арқасында тетрафторметандағы көміртегі қосымша иондық сипат бере отырып, төрт көміртегі-фтор байланысын нығайтады және қысқартады.Тетрафторметан - күшті парниктік газ.
Тетрафторметан кейде төмен температуралы салқындатқыш ретінде пайдаланылады.Ол электрониканың микрофабрикасында жалғыз немесе оттегімен бірге кремний, кремний диоксиді және кремний нитриді үшін плазмалық еріткіш ретінде қолданылады.
| Химиялық формула | CF4 | Молекулалық салмақ | 88 |
| CAS № | 75-73-0 | EINECS № | 200-896-5 |
| Еру нүктесі | -184℃ | Боллинг нүктесі | -128,1℃ |
| ерігіштігі | Суда ерімейді | Тығыздығы | 1,96 г/см³（-184℃） |
| Сыртқы түрі | Түссіз, иіссіз, жанбайтын, сығылатын газ | Қолдану | әр түрлі интегралдық схемалар үшін плазмалық сызу процесінде қолданылады, сонымен қатар лазерлік газ, хладагент және т.б. |
| DOT ID нөмірі | UN1982 | DOT/IMO ЖЕТКІЗУ АТЫ: | Тетрафторметан, сығылған немесе хладагент газы R14 |
| DOT қауіп класы | Сынып 2.2 |
| Элемент | Құндылық, І дәреже | Құндылық, II дәреже | Бірлік |
| Тазалық | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Басқа фторкөміртектер | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Қышқылдық | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *басқа фторкөміртектер C2F6、C3F8 | |||
Ескертпелер
1) жоғарыда көрсетілген барлық техникалық деректер сіздің анықтамаңыз үшін.
2) балама спецификация одан әрі талқылау үшін қабылданады.
