ធាតុ | ទ្រព្យសម្បត្តិបច្ចេកទេស | |
ភាពបរិសុទ្ធ Argon (ប្រភាគ) / 10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
អ៊ីដ្រូសែន (H2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | ០.១ | 1 |
អាសូត (N2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | ០.៥ | 5 |
អុកស៊ីសែន (O2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | ០.២ | ០.៥ |
មាតិកាសរុបនៃកាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត (CO) និងកាបូនឌីអុកស៊ីត (CO2), (ប្រភាគភាគ)/១០-6≤ | កាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត: 0.1 កាបូនឌីអុកស៊ីត: 0.1 | ០.៥ |
អ៊ីដ្រូកាបូនសរុប (គណនាដោយមេតាន) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.១ | ០.៥ |
ទឹក (H2O) ខ្លឹមសារ (ប្រភាគភាគ)/១០-6≤ | ០.២ | ០.៥ |
មាតិកាមិនបរិសុទ្ធសរុប (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | 1 | 8 |
គ្រាប់ធញ្ញជាតិ | យល់ព្រមដោយអ្នកផ្គត់ផ្គង់ និងអ្នកទាមទារ | យល់ព្រមដោយអ្នកផ្គត់ផ្គង់ និងអ្នកទាមទារ |
ចំណាំ៖ បរិមាណទឹកនៃ argon រាវត្រូវវាស់បន្ទាប់ពីឧស្ម័ន |
វាលកម្មវិធី៖ ប្រើជាចម្បងសម្រាប់ការបោសសម្អាត ការការពារ និងសម្ពាធនៃប្រព័ន្ធ។ វាក៏អាចប្រើក្នុងការបញ្ចេញចំហាយគីមី ការបញ្ចេញទឹករំអិល ប្លាស្មា និងការបំប្លែងអ៊ីយ៉ុងសកម្ម ដំណើរការ annealing និងដំណើរការផ្សេងគ្នាផ្សេងទៀត ក៏ដូចជានៅក្នុងឧស្ម័នចម្រុះពិសេសអេឡិចត្រូនិក។