ផលិតផល
កាបូន Tetrafluoride
Tetrafluoromethane ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ថាជាកាបូន tetrafluoride គឺជា fluorocarbon សាមញ្ញបំផុត (CF4) ។វាមានកម្លាំងភ្ជាប់ខ្ពស់ដោយសារតែធម្មជាតិនៃចំណងកាបូន-ហ្វ្លុយអូរីន។វាក៏អាចត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ជា haloalkane ឬ halomethane ។ដោយសារតែចំណងកាបូន-ហ្វ្លុយអូរីនច្រើន ហើយនិងអេឡិចត្រូនីតខ្ពស់បំផុតនៃហ្វ្លុយអូរីន កាបូននៅក្នុង tetrafluoromethane មានបន្ទុកផ្នែកវិជ្ជមានដ៏សំខាន់ ដែលពង្រឹង និងកាត់បន្ថយចំណងកាបូន-ហ្វ្លុយអូរីនទាំងបួនដោយផ្តល់នូវតួអក្សរអ៊ីយ៉ុងបន្ថែម។Tetrafluoromethane គឺជាឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់ដ៏មានឥទ្ធិពល។
ជួនកាល Tetrafluoromethane ត្រូវបានគេប្រើជាឧបករណ៍ត្រជាក់សីតុណ្ហភាពទាប។វាត្រូវបានគេប្រើនៅក្នុង microfabrication អេឡិចត្រូនិកតែម្នាក់ឯង ឬរួមបញ្ចូលគ្នាជាមួយអុកស៊ីហ៊្សែនជាសារធាតុប្លាស្មាសម្រាប់ស៊ីលីកុន ស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត និងស៊ីលីកុននីត្រាត។
| រូបមន្តគីមី | CF4 | ទម្ងន់ម៉ូលេគុល | 88 |
| លេខ CAS | 75-73-0 | EINECS លេខ | ២០០-៨៩៦-៥ |
| ចំណុចរលាយ | -១៨៤ អង្សាសេ | ចំណុចទាញ | -128.1 ℃ |
| ភាពរលាយ | មិនរលាយក្នុងទឹក។ | ដង់ស៊ីតេ | 1.96 ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ³ (-184 ℃) |
| រូបរាង | ឧស្ម័នគ្មានពណ៌ គ្មានក្លិន មិនងាយឆេះ និងអាចបង្ហាប់បាន។ | ការដាក់ពាក្យ | ប្រើក្នុងដំណើរការ etching plasma សម្រាប់សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាផ្សេងៗ ហើយប្រើជា laser gas, refrigerant ជាដើម។ |
| លេខសម្គាល់ DOT | អង្គការសហប្រជាជាតិឆ្នាំ ១៩៨២ | ឈ្មោះដឹកជញ្ជូន DOT/IMO៖ | Tetrafluoromethane ឧស្ម័នបង្ហាប់ឬទូទឹកកក R14 |
| ថ្នាក់គ្រោះថ្នាក់ DOT | ថ្នាក់ 2.2 |
| ធាតុ | តម្លៃ, ថ្នាក់ I | តម្លៃ, ថ្នាក់ទី II | ឯកតា |
| ភាពបរិសុទ្ធ | ≥ 99.999 | ≥ 99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| fluorocarbons ផ្សេងទៀត។ | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| អាសុីត | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| * fluorocarbons ផ្សេងទៀតសំដៅទៅលើ C2F6ស៊ី3F8 | |||
កំណត់ចំណាំ
1) ទិន្នន័យបច្ចេកទេសទាំងអស់ដែលបានចង្អុលបង្ហាញខាងលើគឺសម្រាប់ជាឯកសារយោងរបស់អ្នក។
2) ការបញ្ជាក់ជំនួសត្រូវបានស្វាគមន៍សម្រាប់ការពិភាក្សាបន្ថែម។
