ធាតុ | ទ្រព្យសម្បត្តិបច្ចេកទេស | ||
គ្រីបតុនដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ GB/T5829-2006 | គ្រីបតុនសុទ្ធ | ||
ភាពបរិសុទ្ធ Kr (ប្រភាគភាគ)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
អាសូត (N2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | 2 | ១.៥ | ០.២ |
អុកស៊ីសែន (O2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | ១.៥(អូ2+អា) | 0.5 (អូ2+អា) | ០.១ |
មាតិកា Argon (Ar) (ប្រភាគភាគ)/10-6≤ | 0.05 | ||
អ៊ីដ្រូសែន (H2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | ០.៥ | ០.២ | 0.05 |
មាតិកាកាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត (CO) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.៣ | ០.១ | 0.05 |
កាបូនឌីអុកស៊ីត (CO2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | ០.៤ | ០.១ | 0.05 |
មេតាន (CH4) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | ០.៣ | ០.១ | 0.05 |
ទឹក (H2O) ខ្លឹមសារ (ប្រភាគភាគ)/១០-6≤ | 2 | 1 | ០.២ |
ខ្លឹមសារ Xenon (Xe) (ប្រភាគភាគ)/10-6≤ | 2 | 1 | ០.២ |
ហ្វ្លុយអូរី (CF4) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | 1 | ០.២ | 0.05 |
វាលកម្មវិធី: ប្រើជាចម្បងនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor ឧស្សាហកម្មបូមធូលីអគ្គិសនី ឧស្សាហកម្មប្រភពពន្លឺអគ្គិសនី ក៏ដូចជាឧស្ម័នឡាស៊ែរ សុខភាពវេជ្ជសាស្ត្រ និងវិស័យផ្សេងៗទៀត។