ធាតុ | ទ្រព្យសម្បត្តិបច្ចេកទេស | ||
xenon ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ GB/T5828-2006 | ហ្សេនសុទ្ធ | ||
ភាពបរិសុទ្ធ Xenon (Xe) (ប្រភាគភាគ)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
អាសូត (N2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | ២.៥ | ១.៥ | ០.២ |
អុកស៊ីសែន (O2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | ១.៥(អូ2+អា) | 0.5 (អូ2+អា) | ០.១ |
មាតិកា Argon (Ar) (ប្រភាគភាគ)/10-6≤ | 0.05 | ||
អ៊ីដ្រូសែន (H2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | ០.៥ | ០.៥ | 0.05 |
មាតិកាកាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត (CO) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.២ | ០.១ | 0.05 (CO+CO2) |
មាតិកាកាបូនឌីអុកស៊ីត (CO2) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.៣ | ០.១ | |
មេតាន (CH4) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | ០.៣ | ០.១ | 0.05 |
ទឹក (H2O) ខ្លឹមសារ (ប្រភាគភាគ)/១០-6≤ | 2 | 1 | ០.១ |
មាតិកាគ្រីបតុន (Kr) (ប្រភាគភាគ)/10-6≤ | 2 | 1 | ០.១ |
អាសូតអុកស៊ីដ (N2O) ខ្លឹមសារ (ប្រភាគភាគ)/១០-6≤ | ០.២ | ០.១ | 0.05 |
ហ្វ្លុយអូរី (C2F6) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | ០.៥ | ០.១ | 0.05 |
ហ្វ្លុយអូរី (SF6) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | គ្មាន | គ្មាន | 0.05 |
វិស័យកម្មវិធី៖ ប្រើជាចម្បងនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor អវកាស ឧស្សាហកម្មប្រភពពន្លឺអគ្គិសនី ការព្យាបាលវេជ្ជសាស្រ្ត ម៉ាស៊ីនបូមធូលីអគ្គិសនី ការស្រាវជ្រាវបញ្ហាងងឹត ឡាស៊ែរ និងវិស័យផ្សេងៗទៀត។