ធាតុ | ទ្រព្យសម្បត្តិបច្ចេកទេស | ||
អុកស៊ីសែនសុទ្ធ | អុកស៊ីសែនបរិសុទ្ធ | អុកស៊ីហ្សែនសុទ្ធ | |
អុកស៊ីសែន (O2ភាពបរិសុទ្ធ (ប្រភាគបរិមាណ)/១០-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
អ៊ីដ្រូសែន (H2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | 1 | ០.៥ | ០.១ |
មាតិកា Argon (Ar) (ប្រភាគភាគ)/10-6≤ | 10 | 2 | ០.២ |
អាសូត (N2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | 20 | 5 | ០.១ |
កាបូនឌីអុកស៊ីត (CO2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | 1 | ០.៥ | ០.១ |
មាតិកាអ៊ីដ្រូកាបូនសរុប (ប្រភាគបរិមាណ) (គណនាដោយមេតាន)/10-6≤ | 2 | ០.៥ | ០.១ |
ទឹក (H2O) ខ្លឹមសារ (ប្រភាគភាគ)/១០-6≤ | 3 | 2 | ០.៥ |
វាលកម្មវិធី៖ ប្រើជាចម្បងក្នុងការរៀបចំល្បាយឧស្ម័នស្តង់ដារ ការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រ ការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា និងឧបករណ៍ semiconductor និងផ្នែកផ្សេងទៀតដែលមានតម្រូវការខ្ពស់សម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធអុកស៊ីសែន។